有研硅获得实用新型专利授权：“一种适用于研磨晶圆的研磨液供液系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示有研硅（688432）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种适用于研磨晶圆的研磨液供液系统”，专利申请号为CN202321940879.9，授权日为2023年12月15日。

专利摘要：本实用新型公开了一种适用于研磨晶圆的研磨液供液系统，属于研磨设备技术领域。该研磨液供液系统具备磨液搅拌桶和供液桶，磨液搅拌桶通过补液管与供液桶连接；磨液搅拌桶在顶部连接有注水管，在侧壁上设有液位报警装置，在底部连接第一排液管，在中心位置设有第一搅拌装置；补液管的吸液端设置在第一搅拌装置的搅拌扇叶上下20cm之间的位置；补液管上设有计量泵和信号传送装置，该信号传送装置传送来自研磨设备的信号并控制计量泵；供液桶中设有第二搅拌装置，并自供液桶的底部至顶部之间设置循环管，该循环管上设有循环泵和连接研磨设备的供液管。本实用新型结构简单，能够保证研磨液的均匀、稳定，满足研磨设备加工高品质晶圆所需的研磨液。

今年以来有研硅新获得专利授权13个，较去年同期减少了18.75%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了4347.69万元，同比增17.39%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成，与本站立场无关。证券之星力求但不保证该信息（包括但不限于文字、视频、音频、数据及图表）全部或者部分内容的的准确性、完整性、有效性、及时性等，如存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。