微导纳米获得发明专利授权：“一种载体舟、处理设备以及载体舟内压降控制方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种载体舟、处理设备以及载体舟内压降控制方法”，专利申请号为CN202310389574.1，授权日为2023年12月15日。

专利摘要：本发明提供的一种载体舟、处理设备以及载体舟内压降控制方法，载体舟包括舟体和前置匀流板，所述舟体内部设有两端开口的放置腔，所述放置腔内适于放置若干间隔设置的待处理件，前置匀流板设于所述舟体内放置腔一端开口处，以填充所述舟体内放置腔开口端；其中，所述前置匀流板内设有若干间隔设置的第一阻隔件，且相邻所述第一阻隔件间的第一间隙与相邻所述待处理件间的第二间隙相连通，在外界由氮气携带的反应源从源瓶内通过前置匀流板时，由于前置匀流板为密集分布的多个前置阻隔件等间距组合而成，前置匀流板能够通过其上的前置阻隔件之间的第一间隙将携源气体进行重新均匀分布流入舟体内，使得进入舟体内的携源气体平行均匀的流过待处理件。

今年以来微导纳米新获得专利授权34个，较去年同期增加了112.5%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6390.04万元，同比增3.34%。

数据来源：企查查

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