证券之星消息,根据企查查数据显示中微公司(688012)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种晶圆承载装置及气相沉积设备”,专利申请号为CN202321445292.0,授权日为2023年12月8日。
专利摘要:本实用新型公开一种晶圆承载装置及气相沉积设备,所述晶圆承载装置包括:一个或多个托盘,所述托盘具有晶圆安置面和与所述晶圆安置面相对的背面,所述晶圆安置面包括多个曲面,多个所述曲面由不同的曲率半径确定。本实用新型中托盘上具有不同曲率半径的多个曲面可以使晶圆不同位置处到托盘的间距不同,以调整晶圆的温度分布,使得晶圆上受托盘加热后形成的温场分布较为均匀,从而使得晶圆表面生长的薄膜的量子阱的发光波长分布均匀,进而保证制备的发光器件的发光均匀性。
今年以来中微公司新获得专利授权146个,较去年同期增加了329.41%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2.92亿元,同比减3.77%。
数据来源:企查查
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