证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处理装置及其气体喷嘴、气体喷嘴组件”，专利申请号为CN201911368559.9，授权日为2023年12月1日。
专利摘要：本发明公开一种等离子体处理装置及其气体喷嘴、气体喷嘴组件，该气体喷嘴的本体具有喷嘴内腔及向处理装置的处理腔内输送工艺气体的喷气孔，所述喷嘴内腔包括进气分布腔和出气缓冲腔；所述进气分布腔和出气缓冲腔的容积V≤1/4V1，其中，V1为所述气体喷嘴的本体体积。本方案基于气体喷嘴的结构改进，可规避喷嘴腔内的等离子体点燃风险，有效提升安全可靠性。
今年以来中微公司新获得专利授权139个，较去年同期增加了308.82%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。
数据来源：企查查
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