证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体结构及其制备方法”,专利申请号为CN202311107757.6,授权日为2023年11月28日。
专利摘要:本发明提供一种半导体结构及其制备方法,包括:衬底,所述衬底上形成多个有源区结构;栅极结构,形成于所述有源区结构上;以及电极结构,形成于所述栅极结构与所述有源区结构上;其中,所述栅极结构包括第一栅极与第二栅极,所述第一栅极的多晶硅层上形成金属硅化层,所述第二栅极的多晶硅层上形成金属硅化层与牺牲层,所述牺牲层位于远离所述第一栅极的所述第二栅极的一侧上。通过本发明公开的一种半导体结构及其制备方法,能够对栅极的侧墙结构以及栅氧化层的完整性进行防护。
今年以来晶合集成新获得专利授权229个,较去年同期增加了90.83%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了5.02亿元,同比增27.46%。
数据来源:企查查
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