证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体器件及其制造方法”,专利申请号为CN202311056577.X,授权日为2023年11月28日。
专利摘要:本发明公开了一种半导体器件及其制造方法,所述半导体器件至少包括:衬底,衬底包括多个第一有源区和多个第二有源区,且第一有源区和第二有源区的掺杂类型不同;多晶硅层,设置在第一有源区上和第二有源区上;侧墙结构,设置在衬底上,且侧墙结构贴覆在多晶硅层的侧壁上,其中,位于第一有源区上的侧墙结构具有第一厚度,位于第二有源区上的侧墙结构具有第二厚度,且第一厚度小于第二厚度;源漏掺杂区,设置在第一有源区中,且源漏掺杂区分布在多晶硅层的两侧;以及张应力膜,覆盖在衬底上、多晶硅层上和侧墙结构上。本发明提供了一种半导体器件及其制造方法,能够提升半导体器件的整体效能。
今年以来晶合集成新获得专利授权229个,较去年同期增加了90.83%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了5.02亿元,同比增27.46%。
数据来源:企查查
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