拓荆科技获得发明专利授权：“一种多气流通道的喷淋装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种多气流通道的喷淋装置”，专利申请号为CN202211329081.0，授权日为2023年11月24日。

专利摘要：本发明涉及半导体制造设备技术领域，更具体的说，涉及一种多气流通道的喷淋装置。本发明提供的多气流通道的喷淋装置，包括喷淋上板、分气衬套和喷淋下板：喷淋上板，设置有第一进气口和第二进气口；所述第一进气口位于中心轴位置，所述第二进气口为斜向下指向中心轴方向；所述分气衬套的中心轴位置，设置有第一分气通道，与第一进气口连接，接收第一反应源气体；所述分气衬套的边缘位置，设置有环形流道，与第二进气口连接，接收第二反应源气体；所述喷淋下板，将分气衬套导流的两种反应源气体进行喷入反应空间。本发明可以将两种反应源气体通过独立流道进气，在进入反应区域之前不相遇，同时可以达到均匀分布气体的效果。

今年以来拓荆科技新获得专利授权78个，较去年同期增加了136.36%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.1亿元，同比增78.77%。

数据来源：企查查

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