中微公司获得发明专利授权：“一种抽气装置、抽气方法以及多腔等离子体处理器”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种抽气装置、抽气方法以及多腔等离子体处理器”，专利申请号为CN201911296056.5，授权日为2023年12月1日。

专利摘要：本申请实施例提供了一种抽气装置、抽气方法以及多腔等离子体处理器，抽气装置包括：真空泵、摆阀、混合腔以及混合腔中的分隔部件，分隔部件将混合腔分为多个子腔体，每一个子腔体分别连接一个待处理腔体，摆阀连接混合腔和真空泵，摆阀包括阀板和摆阀主体，分隔部件与摆阀连接，在摆阀具有摆阀开口时，分隔部件将摆阀开口分为多个子开口，每一个子开口分别正对一个子腔体，摆阀开口由阀板相对于摆阀主体的旋转形成，分隔部件的形状根据阀板的旋转路径确定。该装置根据阀板的旋转路径确定分隔部件的形状，从而确定摆阀开口中与子腔体正对的子开口的面积，进而利用真空泵为与子腔体连接的待处理腔体提供低气压，提高腔体环境的稳定性。

今年以来中微公司新获得专利授权138个，较去年同期增加了305.88%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

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