芯源微新获得实用新型专利授权：“一种真空抽液与气液分离装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种真空抽液与气液分离装置”，专利申请号为CN202321579280.7，授权日为2023年12月1日。

专利摘要：本实用新型属于半导体晶圆加工工艺领域，特别是湿法工艺领域的一种真空抽液与气液分离装置，包括真空发生器及气液分离桶；真空发生器具有压缩空气气源连接端、流体抽取端及流体输出端，气液分离桶的顶部开设有排气口、底部开设有排液口，真空发生器的流体输出端与气液分离桶相连通，真空发生器的流体抽取端与设备排废液管道连通，真空发生器的压缩空气气源连接端与外接压缩空气气源连通。本实用新型采用将压缩空气通入真空发生器内，由真空发生器产生负压抽取设备排废液管道内的液体，再输入至气液分离桶内，实现气体与液体的分离排放，能够有效避免设备排废液管道排出废液时发生堵塞的问题。

今年以来芯源微新获得专利授权39个，较去年同期增加了105.26%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了7697.75万元，同比增80.33%。

数据来源：企查查

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