证券之星消息,根据企查查数据显示清越科技(688496)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种刻蚀设备”,专利申请号为CN202321717176.X,授权日为2023年11月24日。
专利摘要:本实用新型涉及晶圆加工技术领域,公开一种刻蚀设备。其中刻蚀设备包括箱体和传送组件。传送组件位于箱体内,传送组件用于传送晶圆;箱体内沿传送组件的传输方向依次设置有第一水淋槽、风刀槽和刻蚀槽;第一水淋槽内设置有第一喷淋装置,第一喷淋装置位于传送组件的上方,第一喷淋装置用于清洗晶圆;第一风刀槽内设置有第一风刀,第一风刀位于传送组件的上方,第一风刀用于吹扫晶圆;刻蚀槽内设置有第二喷淋装置,第二喷淋装置位于传送组件的上方,第二喷淋装置用于向晶圆喷射刻蚀溶液。本实用新型实现了去除晶圆在进入刻蚀设备前的工序中附着的杂质,防止酸气通过传送入口处外泄到刻蚀前设备,防止腐蚀设备,保证人员健康安全。
今年以来清越科技新获得专利授权41个,较去年同期减少了48.1%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了4339.84万元,同比增12.1%。
数据来源:企查查
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