清越科技新获得实用新型专利授权：“一种刻蚀设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示清越科技（688496）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种刻蚀设备”，专利申请号为CN202321717176.X，授权日为2023年11月24日。

专利摘要：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，公开一种刻蚀设备。其中刻蚀设备包括箱体和传送组件。传送组件位于箱体内，传送组件用于传送晶圆；箱体内沿传送组件的传输方向依次设置有第一水淋槽、风刀槽和刻蚀槽；第一水淋槽内设置有第一喷淋装置，第一喷淋装置位于传送组件的上方，第一喷淋装置用于清洗晶圆；第一风刀槽内设置有第一风刀，第一风刀位于传送组件的上方，第一风刀用于吹扫晶圆；刻蚀槽内设置有第二喷淋装置，第二喷淋装置位于传送组件的上方，第二喷淋装置用于向晶圆喷射刻蚀溶液。本实用新型实现了去除晶圆在进入刻蚀设备前的工序中附着的杂质，防止酸气通过传送入口处外泄到刻蚀前设备，防止腐蚀设备，保证人员健康安全。

今年以来清越科技新获得专利授权41个，较去年同期减少了48.1%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了4339.84万元，同比增12.1%。

数据来源：企查查

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