卓胜微新获得实用新型专利授权：“半导体设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示卓胜微（300782）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“半导体设备”，专利申请号为CN202321586806.4，授权日为2023年11月24日。

专利摘要：本公开涉及一种半导体设备，半导体设备包括工艺腔室，晶圆承载台，第一管路，第一开关阀，第二开关阀，真空监测装置，第二管路以及第三管路，晶圆承载台位于工艺腔室内；第一管路的一端与工艺腔室内部相连通；第一开关阀包括第一端、第二端及第三端，第一开关阀的第一端与第一管路远离工艺腔室的一端相连接；第二开关阀位于第一管路上；真空监测装置位于第一管路上，且位于第二开关阀与第一开关阀之间；第二管路的一端与第一开关阀的第二端相连接，另一端与气体源相连接；第三管路的一端与第一开关阀的第三端相连接，另一端与真空泵相连接。半导体设备能够监控半导体设备的工作状态，保证冷却效果。

今年以来卓胜微新获得专利授权22个，较去年同期增加了22.22%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.54亿元，同比增50.79%。

数据来源：企查查

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