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阿特斯新获得实用新型专利授权:“坩埚承载结构及单晶炉热场”

来源:证券之星企业动态 2023-12-06 03:11:20
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证券之星消息,根据企查查数据显示阿特斯(688472)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“坩埚承载结构及单晶炉热场”,专利申请号为CN202321292464.5,授权日为2023年11月21日。

专利摘要:本实用新型公开了一种坩埚承载结构及单晶炉热场,其属于硅片制造技术领域,坩埚承载结构包括外埚帮和内埚托。外埚帮包括外埚帮本体和设置于外埚帮本体底部外表面的外埚帮支撑件,外埚帮本体内设置有坩埚容置腔,外埚帮支撑件内设置有与坩埚容置腔连通的中空腔;内埚托包括内埚托本体和设置于内埚托本体底部的内埚托支撑件,内埚托本体能够设置于坩埚容置腔内用于承载坩埚,内埚托支撑件能够同轴套设于中空腔内,且内埚托支撑件能够相对中空腔沿自身轴线移动以使得所述内埚托本体与所述外埚帮本体的底部内表面贴合或者分离。本实用新型在将坩埚与外埚帮分离时,无需对坩埚进行敲击,使得坩埚能够重复利用,同时避免对外埚帮造成破坏。

今年以来阿特斯新获得专利授权147个,较去年同期减少了0.68%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2.79亿元,同比增39.27%。

数据来源:企查查

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