中芯集成新获得实用新型专利授权：“具有清洗槽盖功能的化镀槽及化镀装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中芯集成（688469）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“具有清洗槽盖功能的化镀槽及化镀装置”，专利申请号为CN202321521552.8，授权日为2023年12月1日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种具有清洗槽盖功能的化镀槽及化镀装置，具有清洗槽盖功能的化镀槽包括：化镀槽体以及清洗装置；所述化镀槽体内具有开口朝上的化镀室；所述清洗装置设置于所述化镀室内，所述清洗装置具有喷液口，所述喷液口朝向所述化镀槽体的开口端以用于向槽盖喷液。如此配置，通过清洗装置的设置，利于实现标准化清洗，以实现清洗效果的统一和可控，以符合自动化量产FAB的工艺需求；而且该清洗方式较为简单，清洗过程中不需要人工手持操作，其清洗效率较高，劳动强度较低，有助于提高生产节拍，并且也消除了人工清洗过程中所带来的安全隐患。

今年以来中芯集成新获得专利授权61个，较去年同期减少了21.79%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6.5亿元，同比增70.44%。

数据来源：企查查

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