富创精密新获得发明专利授权：“一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门”

证券之星消息，根据企查查数据显示富创精密（688409）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门”，专利申请号为CN202311227782.8，授权日为2023年11月21日。

专利摘要：本发明公开了一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，涉及真空矩形阀门技术领域。该用于半导体的真空低振动阀门，包括外框架，所述外框架上端设置有真空腔体，所述真空腔体下端连接有腔体连接板，所述真空腔体内部设置有阀门板，所述阀门板下端连接有波纹管一体轴，所述腔体连接板下表面两侧设置有气动固定座，所述气动固定座下端连接有气动组件，所述气动组件下端连接有连接座，所述连接座上端设置有连杆支撑板，所述连杆支撑板与连接座内部固定连接有下滑块，所述限位块下端设置有花键轴，所述花键轴外表面包裹有弹簧，所述花键轴外表面一周设置有上滑块，所述连杆支撑板上表面前端设置有四个转动底座，所述摆动杆与转动底座连接处设置有转动轴。

今年以来富创精密新获得专利授权42个，较去年同期增加了20%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了9180.97万元，同比增98.8%。

数据来源：企查查

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