芯源微新获得实用新型专利授权：“光刻胶烘烤工艺的加热单元装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“光刻胶烘烤工艺的加热单元装置”，专利申请号为CN202321443001.4，授权日为2023年11月21日。

专利摘要：本实用新型属于半导体行业晶圆加热处理工艺技术领域，具体地说是一种光刻胶烘烤工艺的加热单元装置，包括装置机架、传递模块、升降模块、加热模块，还包括加热腔体及排风模块，加热腔体上靠近传递模块的一侧面开设有基板进入口，排风模块包括排风收集盒，排风收集盒设置于加热腔体上远离传递模块的一侧，排风收集盒上设有若干个排气孔。本实用新型通过侧面开设有排气孔的排风收集盒及侧面开设有基板进入口的加热腔体的设置，可使在排风时加热腔体中的气流基本沿水平方向流动，通过从水平方向流动的气流顺畅及时带走挥发物，不易使挥发物重新落回基板表面，提高烘烤工艺效果，更适合挥发物量较大的光刻胶烘烤工艺情况使用。

今年以来芯源微新获得专利授权39个，较去年同期增加了105.26%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了7697.75万元，同比增80.33%。

数据来源：企查查

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