迈为股份新获得实用新型专利授权：“一种靶材模组及用于磁控溅射的阴极装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示迈为股份（300751）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种靶材模组及用于磁控溅射的阴极装置”，专利申请号为CN202321597975.8，授权日为2023年11月21日。

专利摘要：本实用新型公开了一种靶材模组及用于磁控溅射的阴极装置，靶材模组包括靶筒组件、靶材本体、固定法兰和磁棒，靶筒组件的第一端用于与驱动源配合，以在驱动源的驱动下转动，靶材本体套设于靶筒组件，磁棒位于靶筒组件内部，固定法兰传动连接在靶筒组件的第二端，驱动源驱动靶筒组件转动时，靶筒组件能够沿其轴向相对固定法兰移动，磁棒相对于固定法兰静止。该靶材模组在工作过程中能够沿其轴向做往复运动，降低了溅射过程中形成的深刻区域的几率，从而延长靶材寿命，提高靶材利用率。

今年以来迈为股份新获得专利授权75个，较去年同期增加了31.58%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.85亿元，同比增39.56%。

数据来源：企查查

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