晶合集成新获得发明专利授权：“补充H2O2液体的控制方法、其控制装置和其控制系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示晶合集成（688249）新获得一项发明专利授权，专利名为“补充H2O2液体的控制方法、其控制装置和其控制系统”，专利申请号为CN202311043567.2，授权日为2023年11月14日。

专利摘要：本申请提供了一种补充H2O2液体的控制方法、其控制装置和其控制系统。该方法包括：首先，获取预定半导体结构的参数信息；然后，在参数信息满足预定条件的情况下，根据离子注入浓度的大小以及离子注入能量的大小确定第一体积；最后，将预定半导体结构放入反应腔之前，控制向反应腔中通入第一体积的H2O2液体，反应腔中具有H2O2和H2SO4的混合液。该方法通过离子注入浓度的大小以及离子注入能量的大小确定第一体积，使得不同的参数信息的预定半导体结构对应不同的反应前所需补充H2O2液体的体积，进而解决了现有技术中去除光阻的反应过程中卡罗酸浓度不均衡的问题。

今年以来晶合集成新获得专利授权199个，较去年同期增加了76.11%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5.02亿元，同比增27.46%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成，与本站立场无关。证券之星力求但不保证该信息（包括但不限于文字、视频、音频、数据及图表）全部或者部分内容的的准确性、完整性、有效性、及时性等，如存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。