中微公司新获得实用新型专利授权：“一种温度控制部件及CVD反应装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种温度控制部件及CVD反应装置”，专利申请号为CN202222289663.2，授权日为2023年11月14日。

专利摘要：本实用新型公开了一种温度控制部件及CVD反应装置，所述装置包括：腔体；气体供给部，其设置在腔体顶部，用于向腔体的内部通入用于生长薄膜的反应气体；载置台，设置在腔体的底部，与气体供给部相对设置，用于承载衬底；腔体还包括：衬套，位于腔体内部且环绕腔体的内侧壁设置；侧加热器，其靠近腔体的内侧壁设置，且位于载置台的上方，用于加热腔体内的反应气体，温度控制部件，其设置在腔体的内部，位于载置台上方，温度控制部件发射热量以加热腔体的中心区域的反应气体。本实用新型能够减小所述腔体内部沿径向方向的径向温度梯度。

今年以来中微公司新获得专利授权136个，较去年同期增加了338.71%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

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