中微公司： 公司开发的刻蚀设备能够覆盖诸多先进工艺的制程要求

证券之星消息，中微公司(688012)11月24日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者：董秘您好，请问贵司的3nm刻蚀机是否已经量产？谢谢

中微公司董秘：您好，公司开发的刻蚀设备能够覆盖诸多先进工艺的制程要求。公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及更先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。谢谢您的关注。

投资者：董秘您好！请问贵公司有没有计划研发民用版手机卫星宽带芯片等相关项目?谢谢！

中微公司董秘：您好，公司没有该等芯片项目研发计划。公司主要从事高端半导体设备的研发、生产和销售，涉足半导体集成电路制造、先进封装、LED生产、MEMS制造以及其他微观工艺的高端设备领域。谢谢您的关注。

投资者：贵司刻蚀设备能否满足先进制程逻辑芯片7nm所有需求吗？或者能覆盖多少？

中微公司董秘：您好，公司开发的刻蚀设备能够覆盖诸多工艺的制程要求。公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及更先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。谢谢您的关注。

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