芯碁微装： 公司7月单月订单表现优异，三季度整体签单量会朝着设定目标去完成

芯碁微装(688630)09月15日在投资者关系平台上答复了投资者关心的问题。

投资者：公司的光刻机技术路线感觉是不是和日本佳能Canon技术路线类似，目前订单排产情况如何

芯碁微装董秘：尊敬的投资者您好！公司7月单月订单表现优异，三季度整体签单量会朝着设定目标去完成。公司当前订单已安排到10月底，排产计划较饱和，感谢关注！

投资者：公司产品是否可用于扇出型封装，记得有过该类业务中标

芯碁微装董秘：尊敬的投资者您好！先进封装技术公司已储备多年，应用领域支持FlipChip、Fan-InWLP、Fan-OutWLP和2.5D/3D等先进封装形式，感谢关注！

投资者：光刻机制版设备，公司说90nm制程设备将会出货，这意味着公司90nm制程设备已经量产了吗，更高端的制程是不也该启动研发了

芯碁微装董秘：尊敬的投资者您好！公司满足量产90nm节点制版需求的光刻设备即将交付客户，相关信息以公司官网及公告为准，感谢关注！

投资者：公司报告里提到公司在研满足量产90nm节点制版需求的光刻设备也将尽快推出，以支持半导体掩膜版技术的更新迭代；请问公司目前开发进展如何，项目完成度有多少？

芯碁微装董秘：尊敬的投资者您好！公司满足量产90nm节点制版需求的光刻设备即将交付客户，相关信息以公司官网及公告为准，感谢关注！

投资者：公司中标多次中电科的光刻机招标项目，下游客户是否可应用于MEMS、卫星通信芯片等领域

芯碁微装董秘：尊敬的投资者您好！公司LDW&MLC系列设备，广泛应用于IC芯片、掩模版制版、MEMS芯片、生物芯片微纳光刻加工领域的研究与生产，感谢关注！

投资者：在光刻机细分领域，我国依然被卡脖子，公司创立之初的奋斗目标是什么，目前募投项目中130-90nm国家级微纳直写光刻机研发进展如何，有无量产

芯碁微装董秘：尊敬的投资者您好！公司始终坚持“光刻改变世界”的企业使命，时刻牢记“IC装备、世界品牌”的愿景，坚持“以客户为中心”的核心价值观，坚持“以市场需求为导向”，围绕自身技术优势，结合行业发展趋势，持续进行研发创新和产品迭代，满足国内外客户对直写光刻设备的需求。公司130-90nm晶圆制版光刻设备研制及产业化项目已于2022年上半年验收，能够实现最小线宽350nm、CD均匀度10%，产能120min/片，设备性能优异。感谢关注！

投资者：公司努力了这么多年，今年晶圆级先进封装光刻机有没有实现出货

芯碁微装董秘：尊敬的投资者您好！在先进封装领域，公司从2022年三季度已陆续有机台发至客户端，感谢您的关注。

投资者：公司在直写光刻机领域是否与国际巨头如日本佳能Cannon存在一定竞争关系

芯碁微装董秘：尊敬的投资者您好！在平板显示领域，公司成功实现了OLED显示面板直写光刻设备的产业化并实现了产品销售，与下游客户共同成长，提升产业国产化率，进一步加快了自身研发及市场推广进程，感谢关注！

投资者：您好，目前A股市场微纳直写光刻机领域还有哪些上市公司？大基金有无投资公司，公司与海思的合作方便披露不？

芯碁微装董秘：尊敬的投资者您好，公司客户与业务情况请关注公司官网及相关公告，感谢关注！

投资者：请问公司光刻机相关产品有向半导体企业销售吗？并出口了哪些国家？烦请尽快回复，非常感谢！

芯碁微装董秘：尊敬的投资者您好！泛半导体领域，公司产品应用在IC、MEMS、生物芯片、分立功率器件等制造、IC掩膜版制造、先进封装、显示光刻等环节，应用场景不断拓展，积累了华天科技、维信诺、辰显光电、兴森科技、日翔股份、维信电子、明阳电路、深南电路等客户。目前公司海外市场发展迅速，全面部署全球化海外策略，加大在泰国、越南、日本、韩国等市场的业务拓展，感谢关注！

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