固高科技(301510)09月05日在投资者关系平台上答复了投资者关心的问题。
投资者：请问，公司是否取得一种光刻机运动轨迹规划方法的专利？
固高科技董秘：半导体相关设备一直是公司技术、产品的一个重点应用领域。公司在2014年曾因控制类技术、产品在半导体后封装相关设备领域的应用与对行业的贡献获得国家科技进步二等奖。半导体前道设备所需的控制、伺服驱动与系统相关的技术、产品，公司也一直在持续研究、迭代与应用部署；公司于23年上半年有获批一项关于半导体设备运动轨迹规划的专利《光刻机运动轨迹规划方法、装置、计算机设备和存储介质》。
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