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英诺激光(301021)答投资者问

您好董秘,光刻机作为国外科技卡脖子的产品,国产替代是大势所趋,紫外激光器是光刻机的核心部件之一,特别是在EUV(极紫外光)光刻机中,紫外激光器的作用至关重要。请问贵公司在光刻机国产替代中有哪些技术优势?

尊敬的投资者,您好!目前公司在半导体领域提供的主要产品为碳化硅退火制程的激光器,客户以国外知名半导体装备公司为主;亦有少量应用在硅基半导体检测等关键制程的激光器,正在开发千瓦级薄片激光器。感谢您的关注!

来源:互动易     答复时间:2024/10/26 17:23:12

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