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拓荆科技(688072)答投资者问

公司的ald设备是采用臭氧路径吗？主要用于存储芯片制造吗？

感谢您对公司的关注。公司ALD系列产品包括PE-ALD（等离子体增强原子层沉积）和Thermal-ALD（热处理原子层沉积）设备产品，可沉积多种介质、金属及金属化合物等薄膜工艺，不同ALD工艺所采用的反应源不同，包括但不限于臭氧。公司ALD设备已在存储芯片、逻辑芯片及先进封装等领域广泛应用，谢谢！

来源：e互动     答复时间：2026/7/17 16:03:00

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