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恒运昌(688785)答投资者问

请问公司是否有能力完成原厂大客户的维修+替换（包括MKS+AE等国外产品）国产化替代工作，目前是否有已完成的项目？

尊敬的投资者您好！公司已向国内头部晶圆厂交付Bestda等离子体射频电源，实现了国内首颗刻蚀设备用射频电源的原位替换。此外，公司Aspen系列等离子体射频电源和Basalt系列匹配器已在国内头部晶圆厂产线上替代了CVD（化学气相沉积）工艺设备中的海外等离子体射频电源及匹配器产品。

来源：e互动     答复时间：1970/1/1 0:00:00

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