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盛美上海单晶圆高温SPM设备通过验证

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媒体 2025-03-04 09:00:08

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（原标题：盛美上海单晶圆高温SPM设备通过验证）

人民财讯3月4日电，盛美上海今日宣布其单晶圆中/高温硫酸过氧化混合物（SPM）设备已成功通过一家逻辑芯片制造商的大批量制造验证。截至目前，该设备已交付13家客户。该系统采用盛美上海全新的专有喷嘴设计以消除SPM工艺中的酸雾飞溅问题，能够应对28纳米及以下节点前道与后道工艺中晶圆所需的多种湿蚀刻与清洗工艺。

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