微导纳米拟发行可转债募资不超11.7亿元 投入半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设等项目

（原标题：微导纳米拟发行可转债募资不超11.7亿元 投入半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设等项目）

微导纳米加速半导体设备智能化工厂建设。

5月29日晚间公告，微导纳米拟向不特定对象发行可转换公司债券的募集资金总额不超过11.7亿元。扣除发行费用后，将全部投资于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目、研发实验室扩建项目以及补充流动资金。

2022年登陆科创板的微导纳米致力于薄膜沉积设备研究，经过多年发展，形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，化学气相沉积（CVD）等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，覆盖多类工艺技术和产品类别。目前，公司产品已经覆盖逻辑、存储、新型显示（硅基OLED等）和化合物半导体等领域。

据了解，近年来受益于半导体领域行业景气度的持续攀升，半导体薄膜沉积设备市场呈现出较好的发展态势。据Maximize Market Research数据，2022年全球半导体薄膜沉积设备市场规模为232.7亿美元，结合国内半导体制造设备销售额占全球销售额约26%的比例测算，2022年国内半导体薄膜沉积设备市场规模约为60.5亿美元。

随着芯片制造工艺不断走向精密化，所需要的薄膜层数越来越多，推动半导体薄膜沉积设备市场需求持续增长，Maximize Market Research预计2029年全球半导体薄膜沉积设备市场规模将达559亿美元，同比推算国内市场规模将达145.3亿美元。

本次微导纳米拟募投的半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目，位于江苏省无锡市新吴区内，总投资额为6.7亿元，拟使用本次募集资金金额为6.43亿元。项目拟计划建设先进的生产车间，购置先进生产设备和量测设备，提升公司薄膜沉积设备的生产能力。

通过本项目的建设，微导纳米将持续拓展半导体领域产品的工艺技术类型，并对现有iTomic系列和iTronix系列产品进行技术升级，延展机台的工艺范围，同时在设备的占地、产能、成本上进行优化，开发并量产更加先进的工艺技术。

与此同时，近年来，受下游市场需求增长影响，微导纳米规模迅速扩张，销量增长迅速，公司半导体薄膜沉积设备销售额由2021的0.25亿元增长到2023年的1.22亿元。2023年度，微导纳米新增订单总额约64.69亿元，是上年同期新增订单的2.96倍。截至2024年3月31日，公司在手订单81.91亿元（含Demo订单），其中半导体在手订单量为11.15亿元，为保证公司产品交付质量及交付能力，公司亟需扩充产能。

另外，本次募投研发实验室扩建项目位于江苏省无锡市新吴区内，项目总投资额为4.3亿元，拟使用本次募集资金金额为2.27亿元。项目拟计划建设先进的研发洁净间，购置先进量测设备，优化公司研发测试环境，提升公司研发能力及科技成果转化能力。