中微公司：三维度立体发展平抑周期波动风险 持续提升零部件与材料国产化

虽然半导体行业出现周期性波动，但头部设备厂商保持增长韧性。

作为A股半导体刻蚀设备头部公司，中微公司(688012)上半年扣非后净利润达到4.41亿元，同比增长约六倍。在8月11日业绩说明会上，公司董事长兼总经理尹志尧表示，公司将会采取“三维立体发展”模式来应对行业周期性波动，主要精力放在集成电路的关键高端设备的发展和扩展业务上；另外，公司将与供应商厂商紧密合作，提升关键零部件的国产化替代。

新增订单增长六成

半年报显示，今年1-6月，中微公司实现营业收入19.72亿元，同比增长47.3%，净利润4.68亿元，同比增长近18%，扣非后净利润达到4.41亿元，同比增长超过6倍；期间经营活动产生的现金流量净额转正，基本每股收益0.76元。

报告期内，中微公司等离子体刻蚀设备及MOCVD设备等核心业务保持了高速和稳定的增长。受益于设备市场发展及公司产品竞争优势，公司产品订单、付运及营业收入取得了超预期的成绩。上半年公司新签订单金额同比增长约六成至31亿元，扣非后净利润同比增长约六成至4.41亿元。

尹志尧表示：“今年上半年虽然疫情肆虐，上海疫情更加严重，但是我们坚持了没有停产，能够不断的扩大市场的份额，不断的引入新的产品，实现了大幅度的增长。”据介绍，2021年比2022年公司新订单增长了90%以上，确认收入增长了40%左右，取决于使用人民币结算还是美元结算；在此基础上，今年上半年新增订单再度同比增长61.82%。

今年上半年刻蚀设备成为公司营收主力，达到12.99亿元，较去年同期增长约五成，相比，MOCVD设备收入为2.41亿元，同比增长9.9%，毛利率提升至35.42%。从应用情况来看，目前公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及更先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线；公司MOCVD设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产，公司已成为世界排名前列的氮化镓基LED设备制造商。2022年6月底，公司设备累计付运台数达2654个反应台，在客户73条生产线全面量产。

在回复刻蚀产品覆盖率和市占率问题上，尹志尧表示，目前中微CCP高能等离子刻蚀设备机可以覆盖70%左右的应用，公司还在研发攻克大马士革刻蚀和极高深宽比刻蚀，争取1-2年内进入市场；目前市场占有率也在不断提高，CCP刻蚀机在成熟制程环节已经达到50%甚至60%以上，另外ICP刻蚀机市占率也在迅速提升。

推动上游零部件国产化进程

随着微观器件的不断缩小，推动了器件结构和加工制成的革命性变化。存储器件从2D到3D的转换，使等离子体刻蚀和薄膜制程成为最关键的步骤，这两类设备市场的年平均增长速度各达到17%和16%，远高于其他的设备，另外在化合物功率器件带动下，泛半导体产业的发展和非常迅猛。

今年上半年，中微公司加大研发投入达到3.46亿元，同比增长约20%，占营业收入达到17.56%。

尹志尧表示，中微公司的研发投入占比超过科创板半导体同行上市公司平均水平，研发人员占比四成，并且人均销售增长速度很快，2021年已经超过了300万元，未来公司还继续抓紧知识产权的攻坚和保护策略。

“中微公司在材料和零部件的国产化方面也有了长足的进步，”尹志尧指出，公司在CCP刻蚀机上的国产化率达到了61.4%，而ICP刻蚀机的国产化率达到了59.5%，MOCVD设备的国产化率占到80.8%，“我们还在继续的和供应厂商紧密合作，特别要推动这些有短板的关键零部件，能尽快的实现国产替代。”

中微公司也在持续扩大产能，正在上海临港新片区建设中微临港产业化基地及中微临港总部和研发中心，在南昌高新区建设中微南昌产业化基地，预计未来到2024年，厂房面积将扩大15倍以上达到45.3万平方米。尹志尧介绍，公司南昌的生产研发基地建筑面积14万平方米，已经部分完工，今7月开始投入部分生产；临港的生产研发基地也大面积的封顶，预计今年年底明年年初也可以部分投入生产18万平方米的厂房。

三维立体发展降低波动风险

面对行业波动特点，尹志尧提出中微公司需要“三维立体”发展战略。在回复投资者提问时，尹志尧进一步介绍，集成电路设备永远是中微公司的第一主打产品，公司会继续把主要精力放在集成电路的关键高端设备的发展和扩展业务上。

“但是集成电路市场浮动太大，每年比上一年可能增长80%—100%，也可以比去年减低30—40%。如果把我们的鸡蛋完全放在一个篮子里面，这个公司就不可能保持稳定的生长，所以我们必须开发第二战场。”尹志尧表示，泛半导体的微观加工设备领域，也就是刻蚀机机、薄膜机检测机领域，虽然技术难度不大，但拒用不同发展周期，可以使得公司的发展速度更高，而且更加稳定。

尹志尧表示，上述业务领域的波动幅度都很大，为了减低这种风险，我们要利用我们的核心技术来探索在国计民生中的其他领域的广泛应用；也就是利用公司物理化学和相关科学的核心技术，以及智能化自动化的机电一体化能力和软件开发能力，设立了聚焦环境保护节能减排设备的“中微惠创”、开发中小企业营运软件系统的“中微汇链”，以及大健康领域广泛应用的“芯汇康”，都取得了良好的进展。

在披露半年报同日，中微公司也披露了人事变动，原任董事杨征帆由于个人原因无法履职，巽鑫（上海）投资有限公司作为公司持有3%以上股份的股东提名范晓宁为公司第二届董事会新任董事候选人。资料显示，范晓宁现任华芯投资有限责任公司投资三部总经理。

中微公司是国家集成电路产业基金投资标的之一，近期多位大基金以及其管理公司华芯投资高管被调查。截止6月30日，华芯投资持有中微公司3.97%；大基金旗下巽鑫投资持股15.15%。

8月9日，中微公司披露从从中央纪委国家监委网站获悉，公司董事杨征帆涉嫌严重违纪违法，经中央纪委国家监委指定管辖，目前正接受中央纪委国家监委驻工业和信息化部纪检监察组纪律审查，北京市监委监察调查。鉴于上述原因，公司董事杨征帆无法正常履职。同时，公司表示该事项不会对公司生产经营、财务状况等产生影响。

截至8月11日收盘，中微公司股价上涨2.05%，报收146.78元/股。