（原标题：关于为控股子公司提供担保的公告）
上海至纯洁净系统科技股份有限公司为控股子公司上海至纯系统集成有限公司、至微半导体（上海）有限公司、珐成制药系统工程（上海）有限公司、江苏至纯系统集成有限公司提供担保，担保金额分别为3,000万元、3,000万元、1,000万元、500万元，均无反担保。本次担保在公司2025年年度股东会审议通过的2026年度担保额度范围内，无需再次提交董事会或股东会审议。截至公告日，公司对外担保总额为279,862.15万元，占最近一期经审计净资产的80.01%，无逾期担保。
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