（原标题：关于2023、2024、2025年限制性股票激励计划归属结果暨股份上市的公告）
中微半导体设备（上海）股份有限公司完成2023年限制性股票激励计划第三个归属期、2024年限制性股票激励计划第二个归属期、2025年限制性股票激励计划第一个归属期的股份登记工作。本次归属股份共计5,224,051股，涉及激励对象2342人，股票来源为公司向激励对象定向发行A股普通股。股份上市流通日为2026年7月1日，公司总股本由947,461,532股增至952,685,583股。大华会计师事务所已完成验资，本次归属未导致公司控制权变更。
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