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华海清科: 关于“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖的自愿性披露公告内容摘要

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2024-06-24 17:33:10

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（原标题：关于“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖的自愿性披露公告）

华海清科股份有限公司与清华大学共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖，公司董事长路新春作为项目第一完成人获颁证书。该技术实现了12英寸CMP装备的国产化，推动了国内市场的替代进程。公司自主研发多款商业化机型，已批量进入知名芯片制造企业，国内市场占有率高。此次获奖是对公司CMP技术创新及国产化贡献的肯定。但对近期业绩无重大影响，提醒投资者注意投资风险。

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