晶合集成获得实用新型专利授权：“光学关键尺寸量测机台”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“光学关键尺寸量测机台”，专利申请号为CN202423097460.9，授权日为2025年10月31日。

专利摘要：本申请涉及一种光学关键尺寸量测机台，包括机台本体、掩膜版和光学监测模组，掩膜版位于在机台本体的载台上，掩膜版包括多个呈周期性排布的多个目标图形；其中，每一目标图形包括多个子图形和至少一关键尺寸位置，关键尺寸位置为相邻两个子图形之间的位置；光学监测模组用于量测每一目标图形的关键尺寸信息，并将关键尺寸信息与对应的预设尺寸信息进行对比，以监测关键尺寸信息是否异常；关键尺寸信息包括关键尺寸位置对应的两个子图形的第一间距、子图形的厚度以及相邻两个目标图形之间的第二间距。可以实现对目标图形三维关键尺寸的实时监测，及时发现缺陷位置，提高量测效率，提高半导体良率。

今年以来晶合集成新获得专利授权329个，较去年同期增加了40%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6.95亿元，同比增13.13%。

通过天眼查大数据分析，合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目632次；财产线索方面有商标信息56条，专利信息1428条，著作权信息7条；此外企业还拥有行政许可22个。

数据来源：天眼查APP

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