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晶合集成获得发明专利授权:“2T-eFlash结构及形成方法”

来源:证券之星企业动态 2025-10-29 03:54:28
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“2T-eFlash结构及形成方法”,专利申请号为CN202511121679.4,授权日为2025年10月28日。

专利摘要:本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种2T?eFlash结构及形成方法,包括:提供一衬底,并在衬底上形成N阱区和浅沟槽隔离结构;在靠近浮栅对应沟道区域的浅沟槽隔离结构内形成两个凹槽,且两个凹槽对称设置于所述N阱区的两侧;形成栅氧结构,栅氧结构覆盖所述N阱区、浅沟槽隔离结构以及凹槽的底部和侧壁;沉积多晶硅,至少填满所述凹槽;定义多晶硅图形,形成浮栅;在浮栅的侧壁形成侧墙结构;在浮栅的顶部沉积复合绝缘层结构;形成层间介质层,以及贯穿层间介质层的大尺寸接触孔;在大尺寸接触孔内填充导电填充材料,形成控制栅。本发明提高了编程和擦除的效率,减少了工艺步骤,提升了工艺稳定性。

今年以来晶合集成新获得专利授权299个,较去年同期增加了33.48%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6.95亿元,同比增13.13%。

通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目630次;财产线索方面有商标信息52条,专利信息1347条,著作权信息7条;此外企业还拥有行政许可21个。

数据来源:天眼查APP

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