华海清科获得发明专利授权：“用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备”，专利申请号为CN202411348835.6，授权日为2025年10月28日。

专利摘要：本申请提供一种用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备。承载头包括：承载头主体；设置于承载头主体朝向晶圆的一侧的保持环，保持环将晶圆限定在其中；防滑片机构，其至少部分地设置在保持环中，防滑片机构配置成可轴向伸缩，以在保持环抵靠抛光单元时缩回到保持环中，并在保持环与抛光单元轴向分开时从保持环伸出，防滑片机构由耐腐蚀性材料制成。根据本申请的技术方案，有效避免了晶圆滑出，减少了晶圆破碎的风险，并保证了防滑片机构的有效性。

今年以来华海清科新获得专利授权80个，较去年同期增加了175.86%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目235次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息756条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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