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晶合集成获得发明专利授权:“一种半导体器件及其制作方法”

来源:证券之星企业动态 2025-09-24 03:39:33
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体器件及其制作方法”,专利申请号为CN202510884394.X,授权日为2025年9月23日。

专利摘要:本发明公开了一种半导体器件及其制作方法,属于半导体技术领域。所述制作方法包括:提供一衬底,在衬底上形成栅极结构;在衬底和栅极结构侧壁上形成修复氧化层并进行垂直刻蚀,保留栅极结构侧壁上的修复氧化层;在栅极结构两侧的衬底内依次形成自下而上的轻掺杂区、过渡区和重掺杂区;在衬底上形成全覆盖的第一刻蚀停止层并刻蚀形成开口;在开口内形成补偿外延层;去除第一刻蚀停止层,至少金属化处理补偿外延层和衬底,形成金属硅化物层;再形成第二刻蚀停止层和层间介质层,并刻蚀至金属硅化物层,形成连接孔;在连接孔内形成导电插塞。通过本发明,能够简化制作工艺,提高制作效率,同时提高半导体器件的性能和良率。

今年以来晶合集成新获得专利授权275个,较去年同期增加了23.87%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6.95亿元,同比增13.13%。

通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目630次;财产线索方面有商标信息52条,专利信息1241条,著作权信息7条;此外企业还拥有行政许可21个。

数据来源:天眼查APP

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