易天股份获得实用新型专利授权：“一种晶圆上下料及中转搬臂装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示易天股份（300812）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆上下料及中转搬臂装置”，专利申请号为CN202422365057.3，授权日为2025年9月12日。

专利摘要：本实用新型提出一种晶圆上下料及中转搬臂装置，包括上下料搬臂机构和中转搬臂机构；上下料搬臂机构包括上下料XYZ轴模组、上下料旋转模组、真空吸盘和真空压力表；上下料XYZ轴模组和上下料旋转模组用于实现真空吸盘空间XYZ轴和旋转运动；真空压力表用于实时监测真空压力大小；中转搬臂机构包括中转水平模组、升降模组、中转吸附平台组件，中转水平模组与中转升降模组用于实现中转吸附平台组件水平和升降运动。本实用新型采用XYZ轴模组和旋转模组实现真空吸盘水平、升降和旋转运动，有效提高晶圆上下料搬运范围；本实用新型提出设置中转搬臂机构，进一步提升晶圆搬运范围；本实用新型采用真空压力表实时监测真空压力，有效避免晶圆在搬运过程中滑落。

今年以来易天股份新获得专利授权22个，较去年同期增加了83.33%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2354.33万元，同比减14.28%。

通过天眼查大数据分析，深圳市易天自动化设备股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目239次；财产线索方面有商标信息12条，专利信息322条，著作权信息87条；此外企业还拥有行政许可14个。

数据来源：天眼查APP

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