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晶合集成获得发明专利授权:“半导体器件及其制造方法”

来源:证券之星企业动态 2025-09-10 02:55:16
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“半导体器件及其制造方法”,专利申请号为CN202510713073.3,授权日为2025年9月9日。

专利摘要:本申请涉及一种半导体器件及其制造方法,包括:提供衬底,所述衬底上形成有多个栅极结构,于相邻两个栅极结构之间的衬底内形成预处理沟槽;于预处理沟槽的内壁上形成拓展层;刻蚀去除拓展层中位于预处理沟槽底部的部分,使剩余的拓展层覆盖所述预处理沟槽的侧壁,并刻蚀预处理沟槽下方的衬底,以形成基于预处理沟槽的初始沟槽;刻蚀所述初始沟槽中未被拓展层覆盖的部分并形成西格玛沟槽;去除剩余的拓展层;于所述西格玛沟槽内形成外延层,所述外延层包括自下而上依次堆叠的缓冲层、中间层和盖帽层,且所述缓冲层完全覆盖所述西格玛沟槽的内壁。本申请减少或避免了中间层中的元素扩散至衬底内,从而减少甚至避免半导体器件的短沟道效应。

今年以来晶合集成新获得专利授权264个,较去年同期增加了20%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6.95亿元,同比增13.13%。

通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目630次;财产线索方面有商标信息52条,专利信息1231条,著作权信息7条;此外企业还拥有行政许可21个。

数据来源:天眼查APP

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