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光峰科技获得实用新型专利授权:“光栅结构制作系统”

来源:证券之星企业动态 2025-09-09 03:02:36
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示光峰科技(688007)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“光栅结构制作系统”,专利申请号为CN202422273288.1,授权日为2025年9月9日。

专利摘要:本申请提供一种光栅结构制作系统,包括:光源组件,用于发射第一光束和第二光束,所述第一光束与所述第二光束沿不同的光路传播;掩模组件,为一体式结构,包括第一光栅相位掩模和第二光栅相位掩模,所述第一光栅相位掩模与所述第二光栅相位掩模的光栅周期不同,所述第一光栅相位掩模位于所述第一光束的传播光路上,用于衍射所述第一光束后形成第一曝光光束;所述第二光栅相位掩模位于所述第二光束的传播路径上,用于衍射所述第二光束后形成第二曝光光束;曝光基底,用于承载曝光材料,所述第一曝光光束和第二曝光光束分别入射至所述曝光基底的不同位置,以在当所述曝光材料放置在所述曝光基底上时在所述曝光材料的不同位置处形成周期不同的光栅结构。

今年以来光峰科技新获得专利授权128个,较去年同期增加了39.13%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.25亿元,同比增11.81%。

通过天眼查大数据分析,深圳光峰科技股份有限公司共对外投资了23家企业,参与招投标项目444次;财产线索方面有商标信息583条,专利信息2302条,著作权信息67条;此外企业还拥有行政许可70个。

数据来源:天眼查APP

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