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晶合集成获得发明专利授权:“用于常压炉管系统的制备薄膜的方法以及常压炉管系统”

来源:证券之星企业动态 2025-08-30 03:28:34
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“用于常压炉管系统的制备薄膜的方法以及常压炉管系统”,专利申请号为CN202510596052.8,授权日为2025年8月29日。

专利摘要:本申请公开了一种用于常压炉管系统的制备薄膜的方法以及常压炉管系统,所述方法包括:获得常压炉管内部的工作气压,以作为第一气压;获得常压炉管的尾管的气压,以作为第二气压;基于所述第一气压和所述第二气压,调整所述第一气压和所述第二气压的压力差,使得所述第一气压和所述第二气压的压力差等于第一预设压力差,以维持所述第一气压不变;以及基于所述第一气压和预设时间,在所述常压炉管内制备薄膜。本申请实施例通过调整的第一气压和第二气压的压力差,能够维持常压炉管内部的工作气压不变,从而能够使得制备薄膜的速率维持稳定,可以提升制备薄膜厚度的一致性。

今年以来晶合集成新获得专利授权252个,较去年同期增加了16.67%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6.95亿元,同比增13.13%。

通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目630次;财产线索方面有商标信息52条,专利信息1225条,著作权信息7条;此外企业还拥有行政许可21个。

数据来源:天眼查APP

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