证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“导电插塞的制备方法、半导体器件的制备方法及半导体器件”,专利申请号为CN202510603669.8,授权日为2025年7月22日。
专利摘要:本公开提供了一种导电插塞的制备方法、半导体器件的制备方法及半导体器件。该制备方法包括如下步骤:提供待研磨基底,待研磨基底包括绝缘层、阻挡层和导电层,绝缘层中具有插塞孔,阻挡层设置于绝缘层的顶面上且延伸覆盖于插塞孔的孔壁,导电层设置于阻挡层上;对导电层进行第一研磨处理,第一研磨处理停止于阻挡层的表面;对第一研磨处理后的导电层进行第二研磨处理;对阻挡层和导电层进行第三研磨处理,第三研磨处理停止于绝缘层的表面;对绝缘层和导电层进行第四研磨处理。该制备方法能够使得导电层的减薄量更为可控,能够提高制备得到的导电插塞的质量,并进而使得器件具有更高的良率。
今年以来晶合集成新获得专利授权224个,较去年同期增加了17.28%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了12.84亿元,同比增21.41%。
通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目628次;财产线索方面有商标信息52条,专利信息1188条,著作权信息7条;此外企业还拥有行政许可21个。
数据来源:天眼查APP
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