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晶合集成获得发明专利授权:“接触孔形成方法及图像传感器”

来源:证券之星企业动态 2025-07-12 02:45:10
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“接触孔形成方法及图像传感器”,专利申请号为CN202510587897.0,授权日为2025年7月11日。

专利摘要:本发明公开了一种接触孔形成方法及图像传感器,其方法为:预先完成图像传感器的逻辑区和像素区的器件结构,其中像素区的器件结构比逻辑区多一层减薄的保护层;在像素区的保护层上形成减薄的牺牲阻挡层,其厚度与保护层减薄的厚度相同,材料不同;形成补偿层,其材料与厚度均与保护层相同;在逻辑区的补偿层上通过负光刻胶层形成掩膜去除像素区的补偿层,并进一步去除像素区和逻辑区交接区的剩余补偿层、负光刻胶层以及牺牲阻挡层;形成接触孔刻蚀停止层;填充层间介电层;在层间介质层上形成接触孔的掩膜图案,进行接触孔的刻蚀,并对所有接触孔进行填充。本发明可消除逻辑区和像素区的高度差,避免衬底的过度蚀刻,且有利于维持电性稳定。

今年以来晶合集成新获得专利授权211个,较去年同期增加了15.93%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了12.84亿元,同比增21.41%。

通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目627次;财产线索方面有商标信息52条,专利信息1160条,著作权信息7条;此外企业还拥有行政许可21个。

数据来源:天眼查APP

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