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晶合集成获得发明专利授权:“图像传感器及其制造方法”

来源:证券之星企业动态 2025-05-28 02:29:49
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“图像传感器及其制造方法”,专利申请号为CN202510169935.0,授权日为2025年5月27日。

专利摘要:本申请涉及一种图像传感器及其制造方法,包括:提供衬底,所述衬底上形成有保护层,所述保护层内形成有多个相互隔离的沟槽,所述沟槽沿垂直所述衬底的表面的方向延伸至所述衬底中;于所述保护层上形成牺牲层,所述牺牲层填充所述沟槽远离所述衬底一侧的端部,且所述牺牲层的表面形成有多个凹陷,所述凹陷朝向所述衬底的表面的投影落入所述沟槽朝向所述衬底的表面的投影中;刻蚀所述牺牲层,以使所述凹陷与所述沟槽相互连通;于所述沟槽内填充金属材料,以形成金属格栅。本申请减少或避免了因套刻误差导致金属格栅偏移的问题,简化了工艺流程,增大了图像传感器的收光面积,降低了图像传感器的缺陷率。

今年以来晶合集成新获得专利授权150个,较去年同期增加了7.14%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了12.84亿元,同比增21.41%。

数据来源:天眼查APP

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