晶合集成获得实用新型专利授权：“一种物理气相沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种物理气相沉积设备”，专利申请号为CN202421895745.4，授权日为2025年5月13日。

专利摘要：本实用新型提供了一种物理气相沉积设备，包括：吸附装置，吸附装置上安装基材；固定板，悬空固定在吸附装置的正上方，且固定板上固定靶材，其中靶材位于固定板面向吸附装置的一面，其中靶材在吸附装置上的正投影覆盖基材；机械臂控制组件，机械臂控制组件的一端安装遮护盘，允许机械臂控制组件带动遮护盘移动，直到遮护盘位于吸附装置和靶材之间，且遮护盘在吸附装置上的正投影覆盖吸附装置；监控装置，监控装置包括多个信号发生端和多个信号接收端，其中信号发生端与遮护盘处于同一高度，且信号发生端位于机械臂控制组件的一侧，信号接收端位于机械臂控制组件的另一侧。本实用新型能够保持沉积平台表面清洁，且不间断地监测遮护结构的位置。

今年以来晶合集成新获得专利授权125个，较去年同期增加了3.31%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了12.84亿元，同比增21.41%。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。