长川科技获得实用新型专利授权：“晶圆测试结构”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示长川科技（300604）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶圆测试结构”，专利申请号为CN202421292272.9，授权日为2025年4月1日。

专利摘要：本申请涉及晶圆测试技术领域，提供了一种晶圆测试结构，包括测试箱体、搬运门板、换卡门板和干燥组件。测试箱体具有测试腔以及连通于测试腔的晶圆搬运窗口和换卡窗口；搬运门板可活动的安装于晶圆搬运窗口处，且搬运门板与测试箱体之间设置有第一道密封；换卡门板可活动的安装于换卡窗口处，且换卡门板与测试箱体之间设置有第二道密封；干燥组件用于向测试腔通入干燥气体；干燥组件包括喷射管和汇流管，喷射管沿测试腔的周向环设于测试腔的腔壁，喷射管构造有多个间隔布置的喷射孔，汇流管连通于喷射管并伸出测试腔。本申请提供的晶圆测试结构用于满足晶圆在低温环境中的测试环境需求，并便于控制测试时的露点温度，保证测试安全性。

今年以来长川科技新获得专利授权51个，较去年同期减少了22.73%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了4亿元，同比增16.71%。

数据来源：天眼查APP

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