证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“背照式图像传感器及其制备方法”,专利申请号为CN202510001457.2,授权日为2025年3月25日。
专利摘要:本申请涉及一种背照式图像传感器及其制备方法,包括:提供衬底,衬底内包括沿平行于衬底顶面的第一方向排布的第一区域、第二区域;基于同一光罩同时于第一区域内形成用于隔离光电二极管的第一沟槽,并于第二区域内形成用于隔离埋入式导线的第二沟槽;于第一沟槽内填满牺牲阻挡层后,形成覆盖第二沟槽内表面的保护层;去除第一沟槽内牺牲阻挡层后,采用目标气体选择性刻蚀并去除第一沟槽底部的部分衬底;去除保护层后,形成介电层,介电层覆盖第二沟槽内表面并填满第一沟槽;于第二沟槽内形成埋入式导线。本申请只需一张光罩,即可同时制作光电二极管之间的深隔离沟槽和金属导线浅沟槽,从而节省光罩数量和降低成本。
今年以来晶合集成新获得专利授权75个,较去年同期增加了17.19%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了6.14亿元,同比增22.27%。
数据来源:天眼查APP
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