晶合集成获得实用新型专利授权：“炉管及其进气装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“炉管及其进气装置”，专利申请号为CN202420588722.2，授权日为2025年3月25日。

专利摘要：本申请涉及一种炉管及其进气装置，炉管的进气装置包括：进气管，进气管的同一侧开设有多个孔洞，进气管用于传输反应气体；多个分流组件，沿第一方向排布设于进气管内壁，每一分流组件中设有用于传输反应气体的分流通路，每一分流通路与孔洞连通；其中，各分流组件在第一方向上的尺寸长度具有递减趋势，第一方向为从进气管底部指向进气管顶部的方向。采用本申请的进气装置，能有效改善炉管工艺制程中，反应腔室内部存在气体浓度差的问题，并可以使反应腔室底部、中部和顶部的反应气体具有相同的活化时间，能够有效改善反应腔室底部、中部和顶部的晶圆间膜厚均匀性，改善了炉管工艺制程的负载效应。

今年以来晶合集成新获得专利授权62个，与去年同期持平。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了6.14亿元，同比增22.27%。

数据来源：天眼查APP

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