晶合集成获得发明专利授权：“一种改善光刻胶与晶圆粘附性的方法”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种改善光刻胶与晶圆粘附性的方法”，专利申请号为CN202411864274.5，授权日为2025年3月18日。

专利摘要：本发明提供一种改善光刻胶与晶圆粘附性的方法，包括以下步骤：提供一晶圆，在晶圆表面形成碳点层，碳点层包括多个碳点，所有碳点随机分布在晶圆表面；在晶圆表面形成图形化的光刻胶层，图形化的光刻胶层具有开口，开口暴露出部分碳点层，开口外侧的图形化的光刻胶层覆盖剩余部分的碳点层；以图形化的光刻胶层为掩模，刻蚀部分厚度晶圆；去除光刻胶层和碳点层。本发明通过在晶圆表面和光刻胶层之间形成碳点随机分布的碳点层，使得光刻胶层与晶圆之间形成了良好的接触面，从而提高了光刻胶层与晶圆之间的粘附性。

今年以来晶合集成新获得专利授权57个，较去年同期减少了6.56%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了6.14亿元，同比增22.27%。