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晶合集成获得实用新型专利授权:“一种晶舟的固定治具”

来源:证券之星企业动态 2025-03-15 03:27:20
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种晶舟的固定治具”,专利申请号为CN202421300171.1,授权日为2025年3月14日。

专利摘要:本实用新型提供的一种晶舟的固定治具,治具设置在基座和晶舟之间;基座包括底盘和多个支撑柱;支撑柱的一端与底盘连接,支撑柱的另一端向远离底盘的方向延伸;晶舟包括底座,底座上设置有多个通孔;包括本体,本体包括平行设置的上表面和下表面;上表面上设置有多个间隔分布的第一定位柱,第一定位柱与通孔一一对应,第一定位柱与通孔之间通过卯榫方式连接;下表面上设置有多个间隔分布的定位槽,定位槽与支撑柱的另一端一一对应,定位槽与支撑柱的另一端之间通过卯榫方式连接。晶舟的底座和本体的上表面之间为面接触,晶舟相对支撑柱移动和抖动的问题得到明显改善,可以防止晶圆与晶舟发生碰撞;本体具有保温效果,提高了成膜产品的均匀性。

今年以来晶合集成新获得专利授权51个,较去年同期减少了15%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了6.14亿元,同比增22.27%。

数据来源:天眼查APP

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