晶合集成获得实用新型专利授权：“一种晶圆镀膜的喷淋装置以及晶圆镀膜设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆镀膜的喷淋装置以及晶圆镀膜设备”，专利申请号为CN202420353963.9，授权日为2025年3月11日。

专利摘要：本实用新型提供一种晶圆镀膜的喷淋装置，所述喷淋装置包括：喷淋板；定位结构，所述定位结构包括：支架顶座，设于所述喷淋板的一侧；夹持组件，滑动设于所述支架顶座的底侧，所述夹持组件包括多个夹持杆以及间隙卡尺，所述夹持杆滑动设于所述支架顶座的一侧，所述间隙卡尺设于所述夹持杆上；提拉组件，设于所述支架顶座上；牵拉件，连接于所述夹持杆与所述提拉组件之间；以及弹性件，连接于所述夹持杆与所述提拉组件之间；其中，所述间隙卡尺与所述夹持杆的侧壁之间形成有空隙。通过本实用新型公开的一种晶圆镀膜的喷淋装置以及晶圆镀膜设备，能够提升晶圆表面形成的薄膜厚度的均匀性。

今年以来晶合集成新获得专利授权39个，较去年同期减少了31.58%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了6.14亿元，同比增22.27%。

数据来源：天眼查APP

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