证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种化学薄膜沉积机台”，专利申请号为CN202420633098.3，授权日为2025年3月7日。
专利摘要：本实用新型提供了一种化学薄膜沉积机台，包括：机台主体，其包括腔体；托盘，安装于所述腔体内，所述托盘中放置有晶圆；底座，安装于所述腔体内，位于所述托盘下方；以及至少三个气体喷嘴，所述气体喷嘴连接于进气管道上，所述进气管道安装于腔体上，所述气体喷嘴用以向晶圆的下表面喷入清洁气体。通过本实用新型提供的一种化学薄膜沉积机台，能够改善晶圆与底座之间的气垫效应。
今年以来晶合集成新获得专利授权37个，较去年同期减少了35.09%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了6.14亿元，同比增22.27%。
数据来源：天眼查APP
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