证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种掩膜版及晶圆的切割道结构”,专利申请号为CN202421341999.1,授权日为2025年3月4日。
专利摘要:本实用新型提供了一种掩膜版及晶圆的切割道结构,掩膜版包括器件图形区域,器件图形区域内设置有电路图形;切割道图形区域,切割道图形区域环绕器件图形区域,且切割道图形区域设置有量测图形;其中,量测图形与电路图形的形状相同,且量测图形与电路图形之间为等比例设置。本实用新型提供了掩模版及晶圆的切割道结构,能够显著提高关键尺寸(CD)的量测准确度。
今年以来晶合集成新获得专利授权32个,较去年同期减少了41.82%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了6.14亿元,同比增22.27%。
数据来源:天眼查APP
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